XRD全稱(chēng)x射線衍射儀（X-RayDiffraction）,利用X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象來(lái)獲得衍射后X射線信號(hào)特征，經(jīng)過(guò)處理得到衍射圖譜。利用譜圖信息不僅可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)顯微鏡的確定物相，并擁有“透視眼”來(lái)看晶體內(nèi)部是否存在缺陷（位錯(cuò)）和晶格缺陷等。

 

    XRD衍射儀的適用性很廣，通常用于測(cè)量粉末、單晶或多晶體等塊體材料，并擁有檢測(cè)快速、操作簡(jiǎn)單、數(shù)據(jù)處理方便等優(yōu)點(diǎn)，是一個(gè)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)的“良心產(chǎn)品”。

 

    X射線衍射發(fā)現(xiàn)以來(lái)近百年中x射線衍射儀的發(fā)展情況,大致可以劃分為四個(gè)階段:

 

    ①早期的照相機(jī)階段,特點(diǎn)是以照相底片做探測(cè)記錄器,底片可同時(shí)記錄許多衍射線,測(cè)角器構(gòu)造簡(jiǎn)單;

 

    ②中期的衍射儀階段,特點(diǎn)是用計(jì)數(shù)器做探測(cè)器,大大提高了衍射強(qiáng)度的測(cè)量準(zhǔn)確性,但要逐個(gè)記錄衍射線,測(cè)角器構(gòu)造復(fù)雜,電子技術(shù)的應(yīng)用提高了此階段儀器的自動(dòng)化程度;

 

    ③近代的電子計(jì)算機(jī)衍射儀階段,特點(diǎn)是現(xiàn)代計(jì)算機(jī)與X射線衍射儀的結(jié)合,提高了衍射儀的自動(dòng)化程度和檢驗(yàn)?zāi)芰?并增加了數(shù)據(jù)分析能力,大大促進(jìn)了X射線衍射術(shù)的發(fā)展;

 

    ④現(xiàn)代的多功能衍射儀階段,現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展對(duì)X射線檢驗(yàn)提出了新的要求,發(fā)展出一些新的X射線技術(shù),如小角散射、薄膜衍射、反射率測(cè)定和微區(qū)分析等,把多種不同功能集為一體的多功能x射線衍射儀就此誕生。