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在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
真空計的適用壓力范圍
真空計的名稱 | 可測的壓力范圍(Pa) |
水銀壓力計(U型管) | 10~10 |
油壓力計(U型管) | 10~10 |
油壓力計(U型管) | 3*10~1 |
麥克勞真空計(一般型和特殊型) | 10~10 |
彈性變形真空計 | 10~10 |
隔膜真空計(機械式) | 10~10 |
隔膜真空計(電氣式) | 10~10 |
電離真空計(三極管型) | 10~10 |
超高真空用B-A型 | 10~10 |
*真空用熱陰極磁控計 | 10~10 |
高真空用(舒爾茨型) | 10~10 |
冷陰極真空計 | 1~10 |
皮拉尼真空計 | 10~10 |
熱電偶真空計 | 10~10 |
熱敏電阻真空計 | 10~10 |
粘性真空計 | 1~10 |
克努曾真空計 | 10-1~10 |
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