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托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細長玻璃管就是初的真空計。根據測量的真空度范圍和使用環境,現在常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。這幾種真空計利用了不同的物理現象,其中電容式隔膜真空計利用的是力,熱電偶真空計利用的是熱傳導,電離真空計利用的是真空放電。選用真空計時應該注意以下事項:
1)在設備要求的壓強范圍內,真空計是否有足夠的測量精度;
2)被測氣體是否會對真空計造成損傷;
3)真空計是否會對被測真空環境造成影響;
4)真空計所測壓強是全壓還是分壓,是否已校準,是否與氣體種類有關;
5)真空計能否實現連續測量,數值指示及反應時間如何;
6)真空計的穩定性、可靠性、壽命。
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