近年來，
電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測量下限可達lO-3Pa。根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。
電容式薄膜規管的中間裝著一張金屬彈性膜片，在膜片的一側裝有一個固定電極，當膜片兩側的壓差為零時，固定電極與膜片形成一個靜態電容C0，它與電容C1串聯后作為測量電橋的一條橋臂，電容C2、C3和C4與C5的串聯電容組成其它三條橋臂。
電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產環境中具有穩定的性能。數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點。如一鍵調零功能和設點調整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術）保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC兼容性，長期穩定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準。
電容膜片真空計優點：全刻度范圍從100毫乇。。。1000乇。電源接通后快速穩定。暴露大氣壓后快速恢復。抗腐蝕性陶瓷傳感器。的長期訊號穩定性。溫度補償。保護傳感器防止污染。一鍵調零功能。寬范圍電源。兩個設點。RS232接口。符合清潔室條件。
電容膜片真空計用途：在要求高的應用中用于和快速的壓強測量；用于刻蝕，CVD，PVD，ALD等半導體制造設備。數據貯存和顯示制造設備。工業真空設備。一般高精度壓強測量。
電容膜片真空計特點：任意方向安裝；放空快速響應，縮短周期時間；快速與可靠的讀值，無需大氣壓調節；單一對數/線性模擬輸出訊號，易于工藝集成；小型結構，節省有價值的工藝空間
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