【儀表網 儀表上游】導讀：6月30日，由國家智能傳感器創新中心(簡稱“創新中心”)建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。
傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
在信息時代，傳感器作為海量數據接收和傳遞信息的入口，是萬物互聯的重要基礎，同時隨著近年來物聯網的迅速發展，全球進入智能時代，智能傳感器在移動終端、智能硬件、智能制造、汽車電子、消費電子等領域具有廣闊的應用前景。
據悉，國家智能傳感器創新中心，在工業和信息化部的指導下，于2018年6月成立，致力于先進傳感器技術創新，以關鍵共性技術的研發和中試為目標，聯合傳感器上下游及產業鏈企業開展共性技術研發，專注傳感器設計集成技術、先進制造及封測工藝，布局傳感器新材料、新工藝、新器件和物聯網應用方案等領域，形成“產學研用”協同創新機制，打造智能傳感器創新中心。
創新中心已建成智能傳感器公共服務平臺，測試服務能力主要包括MEMS加速度、MEMS陀螺儀、壓力和紅外等傳感器的測試標定、可靠性測試、ESD測試、產品失效分析、器件工藝分析等多方面功能。其中，測試標定服務以面向消費級和汽車級芯片為主，已引進設備包括加速度/陀螺儀和壓力傳感器測試標定系統、高低溫環境類試驗箱、示波器、分析儀、信號發生器等檢測設備。
6月30日，由國家智能傳感器創新中心(簡稱“創新中心”)建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業鏈國產化，實現自主可控。
面向新興技術發展和市場應用需求，創新中心將在12英寸中試線持續開發新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產品及應用的產業化。
12英寸中試線位于上海智能傳感器產業園內，產業園以智能傳感器為核心，以創新平臺和企業為支撐，伴有精準的政策助力，發展傳感器特色工藝，積極培育和引進領先的智能傳感器產業鏈企業，促進產業集聚和協同發展，力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領域產業高地。
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