【儀表網(wǎng) 儀表會(huì)議】2019年4月25日和26日，上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院材質(zhì)中心理化室聯(lián)合分析儀器巨頭安捷倫公司在上海和江蘇無(wú)錫舉辦了兩場(chǎng)“ICP-MS分析技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用專題研討會(huì)”。參加此次研討會(huì)的單位既有中芯、華力半導(dǎo)體等集成電路產(chǎn)業(yè)，又有諸如多氟多、晶瑞化學(xué)等新興民營(yíng)電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)，與會(huì)人員近百人。
 

 

　　此次會(huì)議也是依托于上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院的“上海市電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)”(以下簡(jiǎn)稱“平臺(tái)”)的一項(xiàng)重要對(duì)外服務(wù)活動(dòng)。會(huì)上上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院技術(shù)人員介紹了“平臺(tái)”的功能和服務(wù)內(nèi)容，分享了ICP-MS分析技術(shù)在集成電路產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的發(fā)展現(xiàn)狀。
 

　　安捷倫公司特邀其日本技術(shù)中心的專家介紹了其產(chǎn)品30年來(lái)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用中的技術(shù)革新及應(yīng)用進(jìn)展。研討會(huì)氣氛熱烈，得到了與會(huì)人員的一致好評(píng)。
 

　　近幾年，在市場(chǎng)需求和國(guó)家政策的推動(dòng)下，我國(guó)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷著的發(fā)展變革。隨著芯片制程工藝水平的不斷提升，對(duì)各類材料及化學(xué)品的品控要求近乎苛刻，雜質(zhì)的檢測(cè)要求已達(dá)十億分之一的級(jí)別，對(duì)檢測(cè)方法和檢測(cè)設(shè)備都提出了全新的要求。
 

　　在此背景下，上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院與安捷倫公司強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，為上海及周邊地區(qū)的集成電路及電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)及研發(fā)機(jī)構(gòu)，提供了一次很好的學(xué)習(xí)交流機(jī)會(huì)，共同探討了我國(guó)集成電路技術(shù)的發(fā)展和ICP-MS在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)革新和前沿發(fā)展成果。
 

　　(原文標(biāo)題：我院與安捷倫公司聯(lián)合舉辦ICP-MS應(yīng)用研討會(huì))