儀表網訊    沈陽儀表院匯博光學公司經過技術攻關，近期成功研制出精密紫外反光鏡新產品。該產品的設計制造難度很大，在2013年之前，國內處于空白，只能依賴進口。由于國內沒有競爭，進口產品的市場價格虛高。
 

　　2013年我院匯博光學應行業發展及市場需求，組成了項目組，開展了專項研究。經過一年的攻關，IC光刻應用的紫外反光鏡達到了非球面面型精度0.05mm、曝光所需波長反射率大于95%、耐高溫450度等關鍵技術指標。產品經顧客試用，滿足應用要求?，F已開始小批制造，以較高的性價比，及時方便的服務，受到行業內的歡迎。目前光學平臺貿易商Edmund也提出了合作的意向，有意在市場推廣應用。
 

　　項目不僅在IC光刻應用精密紫外反光鏡產品取得了共性技術進步，在大口徑精密非球面加工和檢測技術、非球面耐高溫薄膜的鍍制等獲得技術突破，并將共性技術推廣應用在數字投影成像、機車照明燈等相關薄膜器件領域，促進了光學薄膜行業及各應用領域的行業技術進步。