【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局下達(dá)的國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制修訂計(jì)劃，全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)已完成《球板校準(zhǔn)規(guī)范》《回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)校準(zhǔn)規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》3項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范的征求意見(jiàn)稿。為了使國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性，特向全國(guó)有關(guān)單位及專(zhuān)家公開(kāi)征求意見(jiàn)和建議。意見(jiàn)反饋郵箱：mtc2@nim. ac. cn，截止時(shí)間2023年11月10日前。
 

　　《球板校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　球板是一種多尺寸標(biāo)準(zhǔn)器，由多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)球鑲嵌在平板上構(gòu)成。利用球形要素構(gòu)成的各種尺寸，可用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的期間核查和誤差參數(shù)分析。光學(xué)三維掃描儀在工業(yè)制造領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛，其示值誤差通常也采用球板進(jìn)行評(píng)價(jià)。
 

　　中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院建立的一維二維多尺寸標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)裝置([ 2012 ]國(guó)量標(biāo)證字第254號(hào))，多年來(lái)開(kāi)展步距規(guī)、球棒和球板的校準(zhǔn)工作，為用戶開(kāi)展溯源服務(wù)，其中步距規(guī)和球棒已發(fā)布了正式的校準(zhǔn)規(guī)范，球板的校準(zhǔn)依據(jù)仍是自編校準(zhǔn)規(guī)范，有待立項(xiàng)完成。
 

　　目前國(guó)內(nèi)外還沒(méi)有球板相關(guān)的規(guī)程規(guī)范，通過(guò)本規(guī)范的制定，可以規(guī)范球板的計(jì)量特性，為用戶提供規(guī)范化的使用方法，促進(jìn)先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展。
 

　　JJF 1001《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF 1059.1《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF 1071《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　依據(jù)JJF 1071《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范在組織架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語(yǔ)；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)；復(fù)校周期以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于具有規(guī)則陣列和特殊排列結(jié)構(gòu)的球板標(biāo)準(zhǔn)器的首次校準(zhǔn)、后續(xù)校準(zhǔn)和使用中檢查。利用圓孔要素構(gòu)成的標(biāo)準(zhǔn)器可參考本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
 

　　《回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)是一種集成角度反射鏡的精密伺服定位轉(zhuǎn)臺(tái)。包括可360°旋轉(zhuǎn)的角度反射鏡、轉(zhuǎn)軸、主體及底座。回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)工作時(shí)，測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)底座與被測(cè)回轉(zhuǎn)軸線連接，轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)角度反射鏡旋轉(zhuǎn)某一固定角度，該角度作為與被測(cè)回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)角度的比較基準(zhǔn)參與完成被測(cè)回轉(zhuǎn)軸角位置誤差測(cè)量。角度反射鏡與激光干涉儀、角度干涉鏡配合使用，可以完成水平、豎直、傾斜、擺動(dòng)等多種姿態(tài)回轉(zhuǎn)軸線的角位置誤差測(cè)量。
 

　　JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》、JJF 1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　依據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范在組織架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語(yǔ)和定義；概述；計(jì)量特性；通用技術(shù)要求；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范規(guī)定了回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)的計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法等。本規(guī)范主要適用于配合激光干涉儀組合使用的回轉(zhuǎn)軸線測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)的校準(zhǔn)。
 

　　《X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　隨著我國(guó)半導(dǎo)體、電子、通信行業(yè)的快速發(fā)展，許多產(chǎn)品都提出了對(duì)鍍層厚度進(jìn)行精確控制的要求，大部分電子制造加工企業(yè)均配備了鍍層分析測(cè)量設(shè)備。這種廣泛使用的鍍層厚度測(cè)量?jī)x器一種基于X射線熒光分析技術(shù)的比較式測(cè)量?jī)x器，為使其測(cè)量方法和量值傳遞統(tǒng)一，在2011年首次制定和實(shí)施了此類(lèi)臺(tái)式儀器的國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范：JJF1306-2011X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范。
 

　　近十年來(lái)，半導(dǎo)體及微電子技術(shù)的快速發(fā)展，特別是我國(guó)高鐵、電力通訊的迅猛發(fā)展，為滿足現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量需要，大力推動(dòng)了手持式X射線熒光分析儀的產(chǎn)品研發(fā)和市場(chǎng)應(yīng)用，相比臺(tái)式儀器，測(cè)量原理相同，主要優(yōu)點(diǎn)包括體積小、攜帶方便、使用簡(jiǎn)單、性價(jià)比高，導(dǎo)致每年的市場(chǎng)銷(xiāo)售數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了臺(tái)式儀器。
 

　　自JJF1306-2011校準(zhǔn)規(guī)范發(fā)布實(shí)施以來(lái)，經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)計(jì)量校準(zhǔn)部門(mén)的實(shí)際應(yīng)用和反饋，總體上，具有較好的實(shí)用性和可操作性，其量值傳遞和溯源技術(shù)方法是科學(xué)可行的，基本滿足國(guó)內(nèi)此類(lèi)儀器的量值溯源的需求，但也有需要完善和改進(jìn)之處：原規(guī)范中規(guī)定的校準(zhǔn)方法有一定局限性，鍍層標(biāo)準(zhǔn)塊的不確定度要求不太合理，同時(shí)鍍層厚度標(biāo)準(zhǔn)塊都只適合于臺(tái)式鍍層測(cè)量?jī)x，不適用于當(dāng)今應(yīng)用普遍的手持式測(cè)量?jī)x器。
 

　　為使該規(guī)范更好的適應(yīng)新技術(shù)、新產(chǎn)品的快速發(fā)展，需要對(duì)規(guī)范中相關(guān)內(nèi)容進(jìn)行增補(bǔ)和修訂，同時(shí)對(duì)原規(guī)范中不合理的部分內(nèi)容進(jìn)行完善和修訂，滿足工業(yè)生產(chǎn)制造及計(jì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)鍍層厚度測(cè)量?jī)x器量值溯源和量值統(tǒng)一的需求。
 

　　本規(guī)范在原有JJF1306-2011中X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范的基礎(chǔ)上，主體框架內(nèi)容與格式不變，保留原來(lái)的計(jì)量特性要求，修改和增加內(nèi)容包括：
 

　　1. 行為格式規(guī)范化及描述完善性編輯修改；
 

　　2. 適用范圍增加了手持便攜式儀器；
 

　　3. 概述中增加了手持便攜式的外觀示意圖；
 

　　4. 校準(zhǔn)方法的完善：
 

　　4.1測(cè)量重復(fù)性：考慮到測(cè)量范圍內(nèi)不同區(qū)段的有較大變化，測(cè)量點(diǎn)由原來(lái)的1個(gè)增加至3個(gè)；
 

　　4.2 示值穩(wěn)定性：保持不變；
 

　　4.3示值誤差：基于能量色散方法的X射線熒光鍍層測(cè)厚儀，同一種鍍層厚度測(cè)量范圍內(nèi)表現(xiàn)出非明顯線性誤差以及不同鍍層材料厚度測(cè)量誤差差異大，因此，示值誤差校準(zhǔn)點(diǎn)由原來(lái)比較靈活的“1至5個(gè)”修改為“3個(gè)以上”，校準(zhǔn)的鍍層材料由一種修改為至少3種。
 

　　因是自動(dòng)測(cè)量，為提高可靠性，單點(diǎn)測(cè)量次數(shù)由原來(lái)的3次改為10次。
 

　　5. 規(guī)范了附錄C中厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的技術(shù)特性描述及規(guī)定
 

　　因厚度標(biāo)準(zhǔn)塊(片)精度是以測(cè)量不確定度大小來(lái)區(qū)分，因此取消級(jí)別劃分，修改為等別劃分；
 

　　為更加合理表征厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的不確定度，以0.1mm為分界點(diǎn)，按厚度范圍進(jìn)一步區(qū)分測(cè)量不確定度大小。對(duì)應(yīng)于示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果不確定度分析時(shí)，當(dāng)厚度不超過(guò)0.1mm，擴(kuò)展不確定度采用絕對(duì)值來(lái)表征，當(dāng)厚度大于0.1mm，采用相對(duì)擴(kuò)展不確定度來(lái)表示；
 

　　6. 增加了附錄D，用于對(duì)手持編寫(xiě)式儀器的標(biāo)準(zhǔn)塊技術(shù)特性描述和要求；
 

　　7. 增加了手持式儀器的重復(fù)性和示值誤差實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證數(shù)據(jù)。
 

　　8.修改完善了附錄A不確定度分析。
 

　　本規(guī)范適用于臺(tái)式和手持便攜式X射線熒光鍍層測(cè)厚儀的校準(zhǔn)。