氣體流量傳感器是一種把被測(cè)的機(jī)械量轉(zhuǎn)換為電容量改動(dòng)的傳感器。它的靈敏部分便是具有可變參數(shù)的電容器。氣體流量傳感器可分為極距改動(dòng)型、面積改動(dòng)型、介質(zhì)改動(dòng)型三類。

 

    極距改動(dòng)型一般用來(lái)測(cè)量微小的線位移或因?yàn)榱Α毫Α⒄袷幍纫鸬臉O距改動(dòng)。面積改動(dòng)型一般用于測(cè)量角位移或較大的線位移。介質(zhì)改動(dòng)型常用于物位測(cè)量和各種介質(zhì)的溫度、密度、濕度的測(cè)定。

 

    氣體流量傳感器作業(yè)原理氣體流量傳感器的電容檢測(cè)元件是根據(jù)圓筒形電容器原理進(jìn)行作業(yè)的，電容器由兩個(gè)絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數(shù)為e的電解質(zhì)時(shí)，兩圓筒間的電容量為C=2∏eL/lnD/d,式中L為兩筒彼此重合部分的長(zhǎng)度；D為外筒電極的直徑；d為內(nèi)筒電極的直徑；e為中心介質(zhì)的電介常數(shù)。在實(shí)際測(cè)量中D、d、e是根本不變的，所以氣體流量傳感器具有使用方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略和靈敏度高級(jí)特色。

 

    氣體流量傳感器作業(yè)原理--優(yōu)缺陷電容器傳感器的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略，價(jià)格便宜，靈敏度高，過(guò)載能力強(qiáng)，動(dòng)態(tài)呼應(yīng)特性好和對(duì)高溫、輻射、強(qiáng)振等惡劣條件的適應(yīng)性強(qiáng)等。缺陷是輸出有非線性，寄生電容和分布電容對(duì)靈敏度和測(cè)量精度的影響較大，以及聯(lián)接電路較復(fù)雜等。

 

    70年代末以來(lái)，跟著集成電路技能的發(fā)展，出現(xiàn)了與微型測(cè)量?jī)x表封裝在一起的氣體流量傳感器。這種新式的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺陷得到戰(zhàn)勝。氣體流量傳感器是一種用處極廣，很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅鳌?/div>