熒光法溶解氧傳感器的精度通常較高，一般可以達到±0.1mg/L甚至更高的精度水平，在理想條件下，部分高精度的傳感器精度能達到±0.05mg/L。

以下是其能達到較高精度的一些原因：

 1.測量原理優勢：熒光法溶解氧傳感器是基于熒光猝滅原理進行測量的。當熒光物質受到特定波長的光激發時會發出熒光，而水中溶解氧會與激發態的熒光物質發生碰撞，使熒光發生猝滅。通過測量熒光壽命或熒光強度的變化來計算溶解氧濃度，這種原理不受水中其他雜質、鹽度等因素的干擾，具有較高的選擇性和準確性。

 2.穩定性好：熒光法溶解氧傳感器沒有消耗性的電極和電解液，不存在電極極化、電解液泄漏等問題，因此在長期使用過程中能保持較好的穩定性，從而保證了測量精度。此外，熒光物質的性能在一定條件下相對穩定，只要避免強光直射、高溫、化學物質污染等不利因素，其熒光特性不會發生明顯變化，有助于實現高精度測量。

 3.校準技術成熟：經過多年的發展，熒光法溶解氧傳感器的校準技術已經比較成熟。通常可以采用標準氧溶液校準或空氣校準等方法，通過精確配制的標準溶液或已知氧含量的空氣來對傳感器進行校準，確保傳感器的測量值與實際值相符，從而提高測量精度。

 不過，熒光法溶解氧傳感器的精度也會受到一些因素的影響，如使用環境的溫度變化、傳感器探頭的污染、長期使用后熒光物質的性能衰退等。但總體而言，在正確使用和維護的情況下，熒光法溶解氧傳感器能夠滿足大多數應用場景對溶解氧測量精度的要求。