使用三坐標測量儀通過對一個原件使用進行不同的測量速度以確定的測量速度(也稱為逼近速度)。在此，我們會發現必須在慢的測量速度(這會導致不合理的長的時間來完成使用者所需要的測量)和快速測量(會導致接觸表面有較大的沖擊力)之間做出妥協。
　　通過觀察可以發現，三坐標測量儀速度緩慢的測量雖然誤差大但誤差穩定，這是由低速時觸發測頭所需的大量時間導致的。使用快速測量時，三坐標測量儀在更短的時間內觸發以及探針的偏轉顯著降低。然而，隨著快速測量，探針接觸時的力也會更大，這些都會對被測原件產生較大的影響同時還會引起震動以及慣性影響。
　　實驗結果表明，以111毫米每秒的快速測量以及以83毫米每秒的中等進給速度對于某些儀器在測試中會有最小的測量誤差。因此建議使用者在自己的三坐標測量儀中進行測試以確定的測量速度。