干式真空泵目前應用越來越廣泛，尤其是在半導體、化工等一些工況可能比較惡劣的應用行業里。今天就來講一講，在干式真空泵應用中防止泵內出現顆粒物的解決方法：

清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實用標簽。但在實際的干式真空泵應用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過過濾設備來予以解決。此外即使是對顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵，我們為防止意外，也需要盡量避免介質在真空泵泵內由于化反或氣固變相形成顆粒物。顆粒物、可凝性氣體在真空泵內凝結后會對泵造成的各種損傷。對此，除常規的過濾裝置外，普諾克真空科技總結的做法包括：

1、適當提高泵溫。 物質的升華、凝固是壓力與溫度的函數，隨物質不同各有變化。因此提高泵內溫度可以避免一些介質在泵內壓縮過程中發生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產的氯化鋁，在對應壓力下，其在80℃就會開始氣化，因此在將泵內溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。

2、降低會反應氣體的濃度。單位時間內氣體反應生成顆粒數量與氣體濃度相關，所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個方法也會用于泵內溫度冷卻，防止介質降解、聚合形成腐蝕性物質等，也可以防止介質達到著火極限等可能，如CVD工藝中可能的爆炸。

3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態的固體顆粒物沉積，使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點一樣，在不影響干式真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。