芯明天XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

特點

· 1~3維自由組合

· 大行程68μm

· 大承載5kg

· 亞毫秒響應時間

體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時間僅為5ms。XP-63X系列產品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。

閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

技術參數(shù)

XP-633.XS

運動自由度： X

標稱行程范圍（0~120V）：48μm

大行程范圍（-20~150V）：68μm

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：2nm

閉環(huán)線性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：480/80N

剛度：10N/μm

空載諧振頻率：1.5kHz

大承載：5kg

靜電容量：7.2μF

材質：鋁

重量：450g

應用實例

采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實驗。

XP-633壓電納米定位臺配套二維宏動臺組成宏微復合機構，應用于精密加工中。

推薦控制器

XP-633為一維壓電納米定位臺，推薦使用E53.D小體積壓電控制器，體積小巧，易于集成。

E53.D壓電控制器

·E53.D

·0~120V/150V輸出

·模擬、上位機通信控制

·帶寬10kHz

·尺寸80×148×27.5mm

kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機通信、模擬、旋鈕控制