根據(jù)激光干涉儀的體積及應(yīng)用的不同，可選擇合適的壓電式移相元件，例如對于承載小型的鏡片的移相，可選用體積緊湊的壓電陶瓷片或壓電疊堆陶瓷，單個(gè)壓電陶瓷的行程范圍即可達(dá)20微米。

芯明天公司針對大口徑型激光干涉儀，專門設(shè)計(jì)了大口徑型壓電相移器，并且可用于正立、倒置及臥式不同安裝方式，移相范圍為20微米，移相分辨率可達(dá)0.5納米，移相時(shí)間可小于2毫秒。

芯明天針對不同應(yīng)用，設(shè)計(jì)了多種壓電移相平臺，通孔孔徑小至36毫米，大至210毫米。

P77-D1壓電移相器

  空載諧振頻率: 0.15kHz

  空載階躍時(shí)間: 3.5ms

  承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg

  外形尺寸（長×寬×高）:160×160×35mm

  通孔尺寸: Ø106mm

  重量: 2kg

P77-D2壓電移相器

  空載諧振頻率: 0.3kHz

  空載階躍時(shí)間: 2ms

  承載能力: 正立7kg, 臥式1kg, 倒置5kg

  外形尺寸（長×寬×高）: 80×80×35mm

  通孔尺寸: Ø36mm

  重量: 610g

P77-D3壓電移相器

  空載諧振頻率: 0.14kHz

  空載階躍時(shí)間: 2.5ms

  承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg

  外形尺寸（長×寬×高）: 200×200×37mm

  通孔尺寸: Ø160mm

  重量: 2400g

P77-D4壓電移相器

  空載諧振頻率: 0.12kHz

  空載階躍時(shí)間: 3.5ms

  承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置2kg

  外形尺寸（長×寬×高）: 220×220×39mm

  通孔尺寸: Ø160mm

  重量: 2.9kg

P77-D5壓電移相器

  空載諧振頻率: 0.1kHz

  空載階躍時(shí)間: 2.5ms

  承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg

  外形尺寸（長×寬×高）: 265×265×35mm

  通孔尺寸: Ø210mm

  重量: 2.9kg

芯明天可提供壓電式移相器的快速定制設(shè)計(jì)，*匹配客戶設(shè)備的使用要求，定制周期短，具有較高的成本優(yōu)勢，非常適用于先進(jìn)的工業(yè)化檢測設(shè)備。