壓電式移相器（也稱做壓電納米定位臺(tái)），是基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，并通過放大特性的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的壓電式微運(yùn)動(dòng)納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，在電壓信號(hào)的控制下產(chǎn)生納米級(jí)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，完成干涉中要求的微小移相運(yùn)動(dòng)。并且，在其內(nèi)部配置閉環(huán)PID自適應(yīng)控制，改善了壓電陶瓷的非線性，并降低環(huán)境所產(chǎn)生的干擾。

    移相干涉術(shù)(phase shifting interferometry)是一種利用干涉圖對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行測(cè)量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)，例如壓電式移相器，以其優(yōu)良的測(cè)試精度而被廣泛用于各種現(xiàn)代干涉儀器中，并被廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。

    壓電式移動(dòng)器是由壓電控制器所驅(qū)動(dòng)，它所能移動(dòng)的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號(hào)有關(guān)，并與其大小成線性關(guān)系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級(jí)高分辨率、響應(yīng)速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場(chǎng)影響等優(yōu)點(diǎn)。

單個(gè)PZT壓電促動(dòng)器式移相器（芯明天提供）

芯明天壓電式移相器（平臺(tái)式）

壓電式移相器的作用

    壓電式移相器的步進(jìn)可達(dá)納米量級(jí)，用于驅(qū)動(dòng)鏡片做平行運(yùn)動(dòng) , 改變參考光的光程 ,從而在物光和參考光之間引入相移量。

四步移相干涉

壓電式移相器的設(shè)計(jì)

    壓電式移相器由兩部分組成，即壓電驅(qū)動(dòng)源及微位移機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。為消除機(jī)械傳動(dòng)過程中的空回與摩擦，并保證對(duì)位移的高分辨率要求，芯明天利用不同剛度的彈性材料制成的撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)的微形變及自動(dòng)回復(fù)的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了放大式柔性鏈接機(jī)械，將驅(qū)動(dòng)源：PZT壓電疊堆陶瓷的位移進(jìn)行放大并率輸出。

壓電式移相器的PID控制

    壓電式移相器的PID控制（調(diào)節(jié)）即比例、積分、微分控制。它的基礎(chǔ)是比例控制，積分控制可消除穩(wěn)態(tài)誤差，微分控制可加快大慣性系統(tǒng)響應(yīng)速度以及減弱超調(diào)趨勢(shì)。它可與PSD等傳感形成閉環(huán)自適應(yīng)調(diào)節(jié)。

芯明天壓電式移相器控制器

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