臭氧傳感器是一種將臭氧氣體的成分和濃度信息轉換成可供人、儀器和計算機使用的信息的裝置。根據不同的檢測原理，一般可分為三種類型：紫外線、半導體和電化學：
1、研究表明，在253.7nm處有臭氧的紫外線有很大的吸收系數，紫外線在該波長處被臭氧衰減，符合朗伯-比爾定律。基于紫外吸收原理的臭氧氣體分析儀，利用穩定的紫外光源產生紫外線，光波濾波器濾除其他波長的紫外線，只允許253.7nm的紫外線通過。臭氧吸收通過采樣光電傳感器后，到達采樣光電傳感器。最后比較樣品光電傳感器和采樣光電傳感器的電信號，根據朗伯-比爾定律計算數學模型，從而得到臭氧濃度。
2、半導體臭氧傳感器采用氣敏半導體材料制成的敏感元件，如WO3、Sn0、In203等氧化物。當它們吸收臭氧時，發生氧化還原反應，產生或釋放熱量，使元件的溫度相應變化，從而電阻發生變化。臭氧的濃度被轉換成電信號，并且臭氧濃度被測量。一般來說，隨著所述濃度的增加，元件的電阻明顯增加。在一定范圍內，元件的電阻顯著增加。
3、臭氧傳感器由工作電極、對電極、參與電極、電解液和電路系統組成。可以在工作電極和參與電極之間保持恒定的電勢值。當臭氧擴散到傳感器中時，在工作電極上將發生還原反應，在電極上將發生氧化反應。電價與工作電極之間會形成微小電流，在一定范圍內與傳感器的臭氧濃度成正比。最后，臭氧含量將通過電路系統處理計算出來。
近年來，由于工業生產、家庭安全、環境監測和醫療等領域對氣體傳感器的精度、性能和穩定性提出了更高的要求，氣體傳感器的研究和發展變得越來越重要。隨著先進科學技術的應用，氣體傳感器的發展趨勢是小型化、智能化和多功能化。深入研究和掌握有機、無機、生物及各種材料的特性和相互作用，了解各種氣體傳感器的工作原理和作用機理，正確選擇各種傳感器的敏感材料，靈活運用微加工技術、敏感成膜技術、微電子技術和光纖技術優化傳感器性能，是臭氧傳感器的發展方向。
