數字式真空計,利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。真空計的維護:
1、運輸及使用時必須嚴防倒置平臥,以防水銀倒回真空像皮管內或水銀珠進入中間閉管毛細管內堵塞毛細管,影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使水銀能流回真空計玻璃管內。
2、在測量時即真空表為直立狀態,嚴禁將任何氣體強烈地沖入真空系統,以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。
3、真空計內工作汞已經經過化學物理方法處理,有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的水銀氧化污染會直接影響測量精度,應及時送往修理,經檢驗合格后方可使用。
4、真空計在測量結束后,應用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統氣體隔離。這樣能保持真空計內水銀清潔,也能避免真空計被取下分離時,大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下,應在機械真空泵停止后,一定要將機械泵與真空系統氣路斷開,并將機械泵內放入大氣以免機械泵油返入真空系統及真空計受到油的污染。
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