一、項目基本情況

項目編號：0664-2540SUMECZF037

項目名稱：東南大學集成電路學院12寸等離子增強氣相沉積采購

預算金額：1650.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：1650.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

集成電路學院采購12寸等離子增強氣相沉積1套，主要技術要求如下：

1.設備功能：實現直徑12寸及以下尺寸晶圓表面的薄膜沉積，包括SiOx、SiCN、SiCOH等類型薄膜的沉積。

2.含有設備前端模塊（EFEM)一套，其內部配備有全自動機械手用于取放晶圓，外圍有高效過濾器（FFU)控制空氣潔凈度，有3個晶圓盒承載臺和6個冷卻平臺。

3.EFEM可兼容450℃以上溫度的工藝。

本項目不接受進口產品。

本項目所屬行業：工業。

本項目(非專門)面向中小企業采購。

本項目(非專門)面向監獄企業采購。

本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。

項目編號：0664-2540SUMECZF037（SEU-ZB-250170）

合同履行期限：合同簽訂后6個月內設備安裝調試合格。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

無。

3.本項目的特定資格要求：無。4.拒絕下述供應商參加本次采購活動：（1）供應商單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。（2）凡為采購項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加本項目的采購活動。（3）供應商被“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）、“中國政府采購網”(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。

三、獲取招標文件

時間：2025年05月09日  至 2025年05月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京時間，法定節假日除外）

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2025年05月29日 09點30分（北京時間）

開標時間：2025年05月29日 09點30分（北京時間）

地點：南京市長江路198號蘇美達大廈輔樓303會議室

五、公告期限

自本公告發布之日起5個工作日。